先将待测元器件固定于电动载台并完成电性接线，设置周期性调制电压或电流作为激励信号。设备搭载深度制冷红外探测器采集器件热辐射信号，依托数字锁相算法滤除环境背景噪声，同步采集多帧红外图像。软件对图像做提取，生成幅值、相位热成像图，叠加实物光学视图锁定样品热点。

通过制冷型InGaAs探测器开展检测，将待测器件固定于电动载台并施加稳定电激励，使漏电缺陷辐射近红外光子。设备捕捉微弱光信号，借助降噪算法剔除环境杂光干扰，同步采集光学实景与微光成像画面并叠加比对。软件甄别异常发光点位，锁定短路、击穿等故障区域，还可搭配动态调制模式捕捉发光信号，适配芯片、功率器件等试样的失效定位。

依托OBIRCH技术开展检测，先将待测芯片固定于电动载台并接入偏置电路，调试适宜的红外激光功率匀速扫描器件表层。激光局部升温致使缺陷处电阻产生波动，设备实时捕捉电流变化信号，过滤环境杂讯干扰。系统同步叠加光学实景图与电性异常成像，精准标记断路、金属空洞等故障点位。